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天车OHT
应用场景：广泛应用于半导体芯片生产、封装、硅片制造行业等洁净环境下的物料搬送系统，可实现工艺设备（EQ)、晶圆盒空中缓存（OHB）、晶圆盒存储库（Stocker)之间的物料高效、智能搬送
产品特点
– 全面的防撞与安全连锁
– 高效的动态路径算法
– 高负载、高速度
– 高性能振动抑制与平稳运行
核心技术
– 自主开发的动态路径算法
– 高速高精度走行控制技术
– 轨道汇合点防撞技术
– 抑制振动与Particle技术
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