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晶圆盒存储库Stocker
应用场景：广泛应用于半导体芯片生产与封装、硅片制造行业生产线上晶圆盒物流自动存储，作为物料存储空间以平衡各生产工艺设备间的产能差异，可增加无尘室的空间使用率
产品特点
– 全面的防撞与安全连锁
– 高新能振动与平稳运行
– 占用空间少
– 轻量化结构设计
– 多维度、高精度定位
核心技术
– 高洁净设计
– 故障诊断与预测技术
– 振动抑制技术
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