主要产品
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产品特点
– 检测缺陷同时量测胶体尺寸
– 高解析度成像, 检测精度微米级
– 胶体3D测量（可选）
– 路径规化，自适应基板翘曲
核心技术
– 高效照明技术，有效检出透明胶体中的缺陷；
– 自动路径规划技术
– 高分辨率图像的高速采集与处理技术
– 高精度平台设计和控制技术
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