主要产品
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产品特点
– 兼容玻璃和wafer蒸镀
– Inline Type
– 标准化
– 模块化
– 成膜均匀性高
– 膜厚稳定性高
– 速率稳定性高
核心技术
– 蒸镀模拟技术
– 定制化产品，可配置点源或电子束
– 具备Auto PID，蒸镀稳定，成膜均匀
– log分析技术
– 产品成熟，运营稳定
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