主要产品
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产品特点
– 采用准分子激光器（ Excimer Laser ）
– 设备可对应2~8 英寸晶圆，全自动上下料
– 独特的光路、工艺设计，确保GaN低损伤
– 可进行整面剥离、选择性剥离、单颗剥离
– 高精度运动&对位系统，剥离精度微米级
– 光斑监控系统，确保激光稳定性及可追溯性
– Mask全自动切换，解决手动更换Mask痛点
核心技术
- 客制化光斑尺寸
- 高精度运动平台
- 在线光斑分析
- 全自动Mask切换模块
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