主要产品
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产品特点
– 转移精度微米级，光斑尺寸毫米级
– 运动平台XY轴重复定位精度纳米级
– 光学 Mask 旋转设计，可调整光斑方向
– 上下平台水平可自动调整，调整精度微米级
– 供体平台可对应 4&6英寸晶圆或者载板
– 受体运动平台支持基板470*370mm基板
核心技术
- 自主设计光路系统
- 客制化光斑尺寸
- 高精度运动对合平台
- 在线光斑分析
- 精准的转移间距控制
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