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蒸发源
应用场景：适用于G6H及以上量产蒸镀系统的多种有机材料蒸镀的线源和用于Mg、Ag、LiF、Yb 和Al材料蒸镀的点源
产品特点
– 标准化
– 模块化
– 成膜均匀性高
– 材料利用率高
– 稳定运营时间长
核心技术
– 高精密温度控制技术
– 长时间运营稳定性
– 真空热系统蒸镀模拟技术
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